河南实验室净化工程乱流式、层流式、复合式优缺点

　　河南实验室净化工程分类：

　　一、净化工程乱流式

　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净工程室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

　　乱流洁净室的主要特点是从来流到出流之间气流的流通截面是变化的。洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以，送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角，曲率半径很小，气流在室内不可能以单一方向流动，将会彼此撞击，将有回流、旋涡产生。

　　优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

　　二、净化层流式

　　层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：

　　(1)垂直层流式：房间天花板以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

　　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

　　缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

　　(2)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。

　　优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。

　　缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

　　三、净化工程复合式

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　(1)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

　　(2)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

　　洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。

　　(3)并装局部洁净室：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

　　在净化工程的设计施工中，要注意以下几点净化过程是一个循环的过程。在生产、使用过程中，要充分利用这个循环。这就需要设计人员对所选材料及其制造方法进行科学的研究与论证。净化过程中应注意防止产品受到污染。由于硅芯片是高密度聚乙烯材料，其表面光洁度较低。因此，应在硅芯片表面涂一层特殊的防腐剂。这样，就能有效地防止硅芯片受到污染。在生产过程中还应注意使用环保型的水泥。这种水泥可以用于高温、高湿度和低温作业。由于硅芯片是高密度聚乙烯材料中常见的材料之一。因此，在生产过程中要注意防止产品受到污染。